Петербургские ученые рассказали о новой разработке в сфере электроники наноструктур

Исследователи из Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого разработали оборудование для производства нано- и микроструктур. О том, зачем они нужны, RT рассказал заведующий научно-исследовательской лабораторией «Технологии материалов и изделий электронной техники» научного центра мирового уровня «Передовые цифровые технологии» СПбПУ Артём Осипов.«Мы создали комплекс из двух установок: установку микро- и наносферной литографии методом Ленгмюра — Блоджетт и установку плазмохимического травления. Суть микро- и наносферной литографии с помощью метода Ленгмюра — Блоджетт заключается, если говорить просто, в создании монослоя из латексных сфер на поверхности воды. Затем этот слой переносится на подложку, в нашем случае — кремниевую. Эту подложку с нанесённым на неё монослоем латексных сфер можно использовать как маскирующее покрытие при вытравливании на кремнии микро- и наноструктур. Такие структуры необходимы для работы различного микроэлектронного оборудования. К таким структурам, в частности, относятся наноиглы, наностолбики и монолитные кремниевые нанотрубки. Плазмохимическое травление применяется при создании электроники, и с его помощью формируются необходимые микро- и наноструктуры. Плазмохимическое травление осуществляется в основном за счёт физико-химического взаимодействия между свободными атомами, ионами, радикалами и другими частицами, образующимися в плазме, и поверхностными атомами обрабатываемого материала. Результаты нашей работы были представлены на форуме «Микроэлектроника-2023», а непосредственно само разработанное и созданное нами технологическое оборудование планируется представить на III конгрессе молодых учёных 28—30 ноября 2023 года. Отмечу, что разработку ведут сотрудники научно-исследовательской лаборатории «Технологии материалов и изделий электронной техники» в рамках реализации программы научного центра мирового уровня «Передовые цифровые технологии» СПбПУ», — поделился ученый.

По словам Осипова, разработки будут использованы для дисплейных технологий и солнечных элементов.

Ранее «Петербургский дневник» писал о том, как новосибирские ученые создали лечебную колбасу.